Polyimid- und fotoresistentes Ultraschallbeschichtungssystem mit Mikro-Düse

Polyimid- und fotoresistentes Ultraschallbeschichtungssystem mit Mikro-Düse

Beschreibung:

Das Ultraschallsprühsystem ist für verschiedene Anwendungen geeignet, bei denen einheitliche, wiederholbare photoresistente oder polyimide Filmbeschichtungen erforderlich sind.und reproduzierbarem Photoresist und Polyimidbeschichtungsprozess.
Häufige Anwendungen von Polyimid- und fotoresistenten Ultraschallbeschichtungen sind MEMS, Linsen, Mikrofluidische Geräte, Mikroelektronik und Filter.Beschichtungssysteme können flache und 3D-Substrate beschichten, typischerweise Siliziumchips, Glas, Keramik und Metalle.

Parameter:

Struktur und Prinzip der Ultraschalldüse:

Die Ultraschalldüsen sind ein Stimmgerät, das auf spezifischer Frequenzresonanz basiert.mit einem Frequenzbereich von 25 bis 120 kHzDas heißt, je höher die Ultraschallfrequenz, desto kleiner der Wandler, und auch die durch die Düse-Atomisierung erzeugte mittlere Tropfengröße wird abnehmen.

Die Ultraschalldüse besteht aus mehreren Teilen, darunter ein paar piezoelektrische Transduzoren, die elektrische Energie in mechanische Bewegung umwandeln.Die Hochfrequenz-Stromversorgung kommt von einem separaten Generator, der auf die Resonanzfrequenz der Düse sperren kannDer Wandler befindet sich zwischen zwei Titanzylinder, die die Schwingungsbewegung des Wandlers verstärken, um seine Wirkung auf die Atomisationsoberfläche zu maximieren.Wir wählten Titan als Material, weil es eine hohe Zugfestigkeit hat., gute akustische Eigenschaften und hervorragende Korrosionsbeständigkeit.

Die Flüssigkeit wird durch einen Kanal mit großem Durchmesser entlang der gesamten Länge der Düse an die Sprühfläche transportiert.Es wird auf hohe Amplituden-Vibrationen stoßen, die es in kleine Tröpfchen zerbrechen, die sich mit geringer Geschwindigkeit bewegen (weniger als 3 Zoll pro Sekunde). Um diesen Effekt zu erzielen, muß die Leistung der Anwendung innerhalb eines relativ engen Fensters gehalten werden.Wenn die Leistung zu hoch istWenn die Flüssigkeit in einem Spray aufgestoßen wird, wird sie in große Stücke zerrissen, was für die Sprühung nicht geeignet ist.die Betriebsleistung der Düse variiert je nach Konstruktion und Eigenschaften der gesprühten Flüssigkeit zwischen 1 und 15 Watt.

Polyimid- und fotoresistentes Ultraschallbeschichtungssystem mit Mikro-Düse