Automatisierungs-Ausrüstung Co., Ltd. Hangzhous Qianrong.
konzentrieren Sie sich auf Ultraschallanwendung, gutgläubig, um Kunden zu gewinnen
| Herkunftsort: | China |
|---|---|
| Markenname: | FUNSONIC |
| Zertifizierung: | CE |
| Modellnummer: | FS620 |
| Min Bestellmenge: | 1 Einheit |
| Preis: | Negotation |
| Verpackung Informationen: | verpackt durch Holzetui |
| Zahlungsbedingungen: | T/T, Western Union |
| Versorgungsmaterial-Fähigkeit: | Einheit 1000 pro Monat |
| Name der Produktion: | Ultraschallpräzisionssprühmaschine | Häufigkeit: | 60 kHz |
|---|---|---|---|
| Maximalleistung: | 1 bis 15 W | Kontinuierliches Sprühvolumen Max: | 20-1200 ml/h/Stück, skalierbar |
| Wirksame Sprühbreite: | 2-260 mm/Stück, skalierbar | Einheitlichkeit der Sprühe: | ≥ 95% |
| Viskosität der Lösung: | ≤ 30cps | Eingangsspannung: | 220V±10%/50-60Hz |
| Hervorheben: | Ultraschall-Lithographie-Beschichtungssystem,mit einer Breite von mehr als 10 mm,semiconductor ultrasonic lithography coating system |
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Halbleiterfotoresistentes Ultraschalllithographie-Beschichtungssystem
Beschreibung:
Das Ultraschallsprühen ist ein einfaches, wirtschaftliches und reproduzierbares Verfahren für die Photoresist-Beschichtung in der Photolithographie-Waferverarbeitung.FUNSONICs Halbleiter-Fotoresistenz-Ultraschall-Lithographie-Beschichtungssystem verwendet fortschrittliche Schichttechnologie zur feinen Steuerung der DurchflussrateDas niedriggeschwindige Sprühformen definiert das atomisierte Sprühen als ein präzises und kontrollierbares Muster, um Übersprühen zu vermeiden und sehr dünne und einheitliche Schichten zu erzeugen.
Das Halbleiter-Fotoresistenz-Ultraschall-Lithographie-Beschichtungssystem von FUNSONIC bietet Vorteile bei der Ablagerung gleichmäßiger Beschichtungen.besonders an der Oberseite der Seitenwände von Rillen mit hohem Seitenverhältnis und V-förmigen RillenstrukturenDie Zentrifugaldrehung kann keine gleichmäßigen Beschichtungen entlang der Seitenwände ablegen, ohne dass sich zu viel Photoresist am Boden des Hohlraums ansammelt.
Parameter:
| Art der Ware |
Ultraschallpräzise Sprühbeschichtung Maschine Labor-Desktop Typ FS310 |
Intelligente Ultraschallpräzisionsbeschichtungsmaschine FS620 |
| Betriebsfrequenz der Sprühdüse | 20 bis 200 kHz | 20-200KHz (normalerweise 60100110120K) |
| Leistung der Düse | 1 bis 15 W | 1 bis 15 W |
| Kontinuierliches Sprühvolumen Max | 00,01 bis 50 ml/min | 00,01 bis 50 ml/min |
| Wirksame Sprühbreite | 2 bis 100 mm | 2 bis 100 mm |
| Einheitlichkeit der Sprühe | ≥ 95% | ≥ 95% |
| Lösungskonvertierungsrate | ≥ 95% | ≥ 95% |
| Trockene Filmdicke | 20 nm bis 100 μm | 20 nm bis 100 μm |
| Viskosität der Lösung | ≤ 30cps | ≤ 30cps |
| Temperaturbereich | 1-60°C | 1-60°C |
| Atomisierte Partikel (Medianwert) | 10-45 μm (Destilliertes Wasser), bestimmt durch die Frequenz der Düse | 10-45 μm (Destilliertes Wasser), bestimmt durch die Frequenz der Düse |
| Ablenkungsdruck Max | ≤ 0,10 MPA | ≤ 0,15 MPA |
| Eingangsspannung | 220V±10%/50-60Hz | 220V±10%/50-60Hz |
| Übungsmodus | X+Y zwei Achsen vollautomatisch, Z-Achsen manuell einstellen | XYZ dreiachsige, unabhängig programmierbar |
| Steuerungsmodus | Mikrocomputerkarte, 7-Zoll-Touchscreen + Tasten | FUNSONIC Sprühsteuerungssystem, PLC-Steuerung, 13,3-Zoll-Full-Color-Touchscreen |
| Kontrollinhalte | Ultraschallsprühen, Flüssigkeitsversorgung, Heizung, Ultraschalldispersion und andere Systeme | Ultraschallsprühen, Flüssigkeitsversorgung, Heizung, Ultraschalldispersion und andere Systeme |
| Methode der Flüssigkeitszufuhr | Präzisionspumpe | Präzisionspumpe |
| Ultraschalldispersionssystem (optional) | 50 ml, 40K, biologischer Probenahmer | 20 ml oder 50 ml, 40K, biologischer Probenahmer |
| Nennleistung des Ultraschalldispersionssystems | 200 W, 10 A | 100 W |
Vorteile:
1. Einheitliche Filmbedeckung verschiedener Oberflächenkonturen.
2. in der Lage, Rillen mit hohem Seitenverhältnis mit ausgezeichneter Einheitlichkeit zu beschichten.
3- Nicht verstopfendes Spray.
4. in der Lage, sehr gleichmäßige einzelmikron dünne Schichten abzulegen.
5- Wiederholbarer Reifensprühvorgang.
Halbleiterfotoresistentes Ultraschalllithographie-Beschichtungssystem