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Halbleiterfotoresistentes Ultraschalllithographie-Beschichtungssystem

Halbleiterfotoresistentes Ultraschalllithographie-Beschichtungssystem

MOQ: 1 Einheit
Preis: Negotation
Standard Packaging: verpackt durch Holzetui
Payment Method: T/T, Western Union
Supply Capacity: Einheit 1000 pro Monat
Detailinformationen
Herkunftsort
China
Markenname
FUNSONIC
Zertifizierung
CE
Modellnummer
FS620
Name der Produktion:
Ultraschallpräzisionssprühmaschine
Häufigkeit:
60 kHz
Maximalleistung:
1 bis 15 W
Kontinuierliches Sprühvolumen Max:
20-1200 ml/h/Stück, skalierbar
Wirksame Sprühbreite:
2-260 mm/Stück, skalierbar
Einheitlichkeit der Sprühe:
≥ 95%
Viskosität der Lösung:
≤ 30cps
Eingangsspannung:
220V±10%/50-60Hz
Hervorheben:

Ultraschall-Lithographie-Beschichtungssystem

,

mit einer Breite von mehr als 10 mm

,

semiconductor ultrasonic lithography coating system

Product Description

Halbleiterfotoresistentes Ultraschalllithographie-Beschichtungssystem


 
Beschreibung:


Das Ultraschallsprühen ist ein einfaches, wirtschaftliches und reproduzierbares Verfahren für die Photoresist-Beschichtung in der Photolithographie-Waferverarbeitung.FUNSONICs Halbleiter-Fotoresistenz-Ultraschall-Lithographie-Beschichtungssystem verwendet fortschrittliche Schichttechnologie zur feinen Steuerung der DurchflussrateDas niedriggeschwindige Sprühformen definiert das atomisierte Sprühen als ein präzises und kontrollierbares Muster, um Übersprühen zu vermeiden und sehr dünne und einheitliche Schichten zu erzeugen.
Das Halbleiter-Fotoresistenz-Ultraschall-Lithographie-Beschichtungssystem von FUNSONIC bietet Vorteile bei der Ablagerung gleichmäßiger Beschichtungen.besonders an der Oberseite der Seitenwände von Rillen mit hohem Seitenverhältnis und V-förmigen RillenstrukturenDie Zentrifugaldrehung kann keine gleichmäßigen Beschichtungen entlang der Seitenwände ablegen, ohne dass sich zu viel Photoresist am Boden des Hohlraums ansammelt.

 
 
Parameter:

 

Art der Ware

Ultraschallpräzise Sprühbeschichtung Maschine Labor-Desktop Typ

FS310

Intelligente Ultraschallpräzisionsbeschichtungsmaschine

FS620

Betriebsfrequenz der Sprühdüse 20 bis 200 kHz 20-200KHz (normalerweise 60100110120K)
Leistung der Düse 1 bis 15 W 1 bis 15 W
Kontinuierliches Sprühvolumen Max 00,01 bis 50 ml/min 00,01 bis 50 ml/min
Wirksame Sprühbreite 2 bis 100 mm 2 bis 100 mm
Einheitlichkeit der Sprühe ≥ 95% ≥ 95%
Lösungskonvertierungsrate ≥ 95% ≥ 95%
Trockene Filmdicke 20 nm bis 100 μm 20 nm bis 100 μm
Viskosität der Lösung ≤ 30cps ≤ 30cps
Temperaturbereich 1-60°C 1-60°C
Atomisierte Partikel (Medianwert) 10-45 μm (Destilliertes Wasser), bestimmt durch die Frequenz der Düse 10-45 μm (Destilliertes Wasser), bestimmt durch die Frequenz der Düse
Ablenkungsdruck Max ≤ 0,10 MPA ≤ 0,15 MPA
Eingangsspannung 220V±10%/50-60Hz 220V±10%/50-60Hz
Übungsmodus X+Y zwei Achsen vollautomatisch, Z-Achsen manuell einstellen XYZ dreiachsige, unabhängig programmierbar
Steuerungsmodus Mikrocomputerkarte, 7-Zoll-Touchscreen + Tasten FUNSONIC Sprühsteuerungssystem, PLC-Steuerung, 13,3-Zoll-Full-Color-Touchscreen
Kontrollinhalte Ultraschallsprühen, Flüssigkeitsversorgung, Heizung, Ultraschalldispersion und andere Systeme Ultraschallsprühen, Flüssigkeitsversorgung, Heizung, Ultraschalldispersion und andere Systeme
Methode der Flüssigkeitszufuhr Präzisionspumpe Präzisionspumpe
Ultraschalldispersionssystem (optional) 50 ml, 40K, biologischer Probenahmer 20 ml oder 50 ml, 40K, biologischer Probenahmer
Nennleistung des Ultraschalldispersionssystems 200 W, 10 A 100 W


 

Vorteile:

 

1. Einheitliche Filmbedeckung verschiedener Oberflächenkonturen.
2. in der Lage, Rillen mit hohem Seitenverhältnis mit ausgezeichneter Einheitlichkeit zu beschichten.
3- Nicht verstopfendes Spray.
4. in der Lage, sehr gleichmäßige einzelmikron dünne Schichten abzulegen.
5- Wiederholbarer Reifensprühvorgang.


   Halbleiterfotoresistentes Ultraschalllithographie-Beschichtungssystem 0

Halbleiterfotoresistentes Ultraschalllithographie-Beschichtungssystem 1

 

Halbleiterfotoresistentes Ultraschalllithographie-Beschichtungssystem 2

 


 

 

 


 

 

 

 


 

 

 

Halbleiterfotoresistentes Ultraschalllithographie-Beschichtungssystem

 

Halbleiterfotoresistentes Ultraschalllithographie-Beschichtungssystem 3

Halbleiterfotoresistentes Ultraschalllithographie-Beschichtungssystem 4

 

 

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Halbleiterfotoresistentes Ultraschalllithographie-Beschichtungssystem
MOQ: 1 Einheit
Preis: Negotation
Standard Packaging: verpackt durch Holzetui
Payment Method: T/T, Western Union
Supply Capacity: Einheit 1000 pro Monat
Detailinformationen
Herkunftsort
China
Markenname
FUNSONIC
Zertifizierung
CE
Modellnummer
FS620
Name der Produktion:
Ultraschallpräzisionssprühmaschine
Häufigkeit:
60 kHz
Maximalleistung:
1 bis 15 W
Kontinuierliches Sprühvolumen Max:
20-1200 ml/h/Stück, skalierbar
Wirksame Sprühbreite:
2-260 mm/Stück, skalierbar
Einheitlichkeit der Sprühe:
≥ 95%
Viskosität der Lösung:
≤ 30cps
Eingangsspannung:
220V±10%/50-60Hz
Min Bestellmenge:
1 Einheit
Preis:
Negotation
Verpackung Informationen:
verpackt durch Holzetui
Zahlungsbedingungen:
T/T, Western Union
Versorgungsmaterial-Fähigkeit:
Einheit 1000 pro Monat
Hervorheben

Ultraschall-Lithographie-Beschichtungssystem

,

mit einer Breite von mehr als 10 mm

,

semiconductor ultrasonic lithography coating system

Product Description

Halbleiterfotoresistentes Ultraschalllithographie-Beschichtungssystem


 
Beschreibung:


Das Ultraschallsprühen ist ein einfaches, wirtschaftliches und reproduzierbares Verfahren für die Photoresist-Beschichtung in der Photolithographie-Waferverarbeitung.FUNSONICs Halbleiter-Fotoresistenz-Ultraschall-Lithographie-Beschichtungssystem verwendet fortschrittliche Schichttechnologie zur feinen Steuerung der DurchflussrateDas niedriggeschwindige Sprühformen definiert das atomisierte Sprühen als ein präzises und kontrollierbares Muster, um Übersprühen zu vermeiden und sehr dünne und einheitliche Schichten zu erzeugen.
Das Halbleiter-Fotoresistenz-Ultraschall-Lithographie-Beschichtungssystem von FUNSONIC bietet Vorteile bei der Ablagerung gleichmäßiger Beschichtungen.besonders an der Oberseite der Seitenwände von Rillen mit hohem Seitenverhältnis und V-förmigen RillenstrukturenDie Zentrifugaldrehung kann keine gleichmäßigen Beschichtungen entlang der Seitenwände ablegen, ohne dass sich zu viel Photoresist am Boden des Hohlraums ansammelt.

 
 
Parameter:

 

Art der Ware

Ultraschallpräzise Sprühbeschichtung Maschine Labor-Desktop Typ

FS310

Intelligente Ultraschallpräzisionsbeschichtungsmaschine

FS620

Betriebsfrequenz der Sprühdüse 20 bis 200 kHz 20-200KHz (normalerweise 60100110120K)
Leistung der Düse 1 bis 15 W 1 bis 15 W
Kontinuierliches Sprühvolumen Max 00,01 bis 50 ml/min 00,01 bis 50 ml/min
Wirksame Sprühbreite 2 bis 100 mm 2 bis 100 mm
Einheitlichkeit der Sprühe ≥ 95% ≥ 95%
Lösungskonvertierungsrate ≥ 95% ≥ 95%
Trockene Filmdicke 20 nm bis 100 μm 20 nm bis 100 μm
Viskosität der Lösung ≤ 30cps ≤ 30cps
Temperaturbereich 1-60°C 1-60°C
Atomisierte Partikel (Medianwert) 10-45 μm (Destilliertes Wasser), bestimmt durch die Frequenz der Düse 10-45 μm (Destilliertes Wasser), bestimmt durch die Frequenz der Düse
Ablenkungsdruck Max ≤ 0,10 MPA ≤ 0,15 MPA
Eingangsspannung 220V±10%/50-60Hz 220V±10%/50-60Hz
Übungsmodus X+Y zwei Achsen vollautomatisch, Z-Achsen manuell einstellen XYZ dreiachsige, unabhängig programmierbar
Steuerungsmodus Mikrocomputerkarte, 7-Zoll-Touchscreen + Tasten FUNSONIC Sprühsteuerungssystem, PLC-Steuerung, 13,3-Zoll-Full-Color-Touchscreen
Kontrollinhalte Ultraschallsprühen, Flüssigkeitsversorgung, Heizung, Ultraschalldispersion und andere Systeme Ultraschallsprühen, Flüssigkeitsversorgung, Heizung, Ultraschalldispersion und andere Systeme
Methode der Flüssigkeitszufuhr Präzisionspumpe Präzisionspumpe
Ultraschalldispersionssystem (optional) 50 ml, 40K, biologischer Probenahmer 20 ml oder 50 ml, 40K, biologischer Probenahmer
Nennleistung des Ultraschalldispersionssystems 200 W, 10 A 100 W


 

Vorteile:

 

1. Einheitliche Filmbedeckung verschiedener Oberflächenkonturen.
2. in der Lage, Rillen mit hohem Seitenverhältnis mit ausgezeichneter Einheitlichkeit zu beschichten.
3- Nicht verstopfendes Spray.
4. in der Lage, sehr gleichmäßige einzelmikron dünne Schichten abzulegen.
5- Wiederholbarer Reifensprühvorgang.


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