60 kHz Hochtemperatur-Vortex-Ultraschall-Spray-Beschichtungssystem

60kHz Hochtemperatur-Vortex-Ultraschall-Sprühbeschichtungssystem

Beschreibung: 

Unser 60kHz Hochtemperatur-Vortex-Ultraschall-Sprühbeschichtungssystem integriert eine 60 kHz Vortex-Ultraschall-Zerstäubungsdüse mit integrierter Kühlstruktur. Ein piezoelektrischer Wandler erzeugt Hochfrequenzvibrationen, um flüssige Vorläufer in feine Mikrotröpfchen umzuwandeln. Ein langsam drehendes Gas formt ein stabiles konisches Sprühfeld ohne starken Aufprall auf Substrate.

Die Düsengekühlbaugruppe isoliert die Wärme von der Hochtemperatur-Heizstufe, die bis zu 500~600°C erreichen kann. Dieses Design ermöglicht das In-situ-Trocknen und die thermische Zersetzung von Vorläuferlösungen direkt auf der Substratoberfläche.

Im Vergleich zu herkömmlichen fokussierten Ultraschall-Sprühdüsen bietet der Vortex-Typ eine größere effektive Sprühbreite und eine überlegene Beschichtungsuniformität. Der sanfte Nebel reduziert die Übersprühung erheblich und verbessert die Materialausnutzung auf über 90%, wodurch teure Edelmetall-Vorläufermaterialien gespart werden. Die Ultraschall-Selbstreinigungsfunktion minimiert die Verstopfung der Düse bei Suspensionen, Solen und Salzlösungen.

Ausgestattet mit einem präzisen Flüssigkeitszufuhrmodul, einer unabhängigen Gassteuerungseinheit und einer XYZ-Servobewegungsplattform unterstützt das System programmierbare Beschichtungspfade. Es kann dünne Filme im Bereich von zehn Nanometern bis zu Mikrometern abscheiden.

Typische Anwendungen umfassen Katalysatorschichten für Brennstoffzellen & PEM-Beschichtung, Perowskit-Solarzellen, TCO- und Metalloxidfilme, MEMS & funktionelle Wafer-Beschichtungen, Herstellung von Sensor-Nanofilmen.

Parameter: 

Vorteile:

1. Gleichmäßige Abdeckung mit Vortex-Sprühstrahl, größere effektive Sprühbreite in einem Durchgang
2. Hochtemperatur-kompatibles Design. Düse mit Kühlstruktur zur Unterstützung des thermischen Zersetzungsprozesses des Substrats
3. Hohe Materialausnutzung über 90%, Einsparung kostspieliger Vorläuferlösungen
4. Ultraschall-Selbstreinigung, geringes Risiko der Düsenverstopfung, kompatibel mit Suspensionen, Solen und Salzvorläufern
5. Sanfter Nebel mit geringem Aufprall, keine Beschädigung poröser Substrate oder vorgeformter dünner Filme
6. Präzise Filmdickenkontrolle. Mehrschichtabscheidung zur Herstellung dünner Filme im Nanometer- bis Mikrometerbereich
7. Niederdruck-Vortex-Formungsgas, minimale Tröpfchenrückprallung und geringe Übersprühung

60kHz Hochtemperatur-Vortex-Ultraschall-Sprühbeschichtungssystem